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序号

名     称

主要技术指标

单位

数量

推 荐 厂 家

1

精密隔振光学平台

4支撑，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有频率8-10HZ；振幅不大于5微米

个

2

卓立汉光、大恒、江西连胜、上海理工大学附属工厂

精密隔振光学平台

4支撑，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有频率8-10HZ；振幅不大于5微米

个

1

隔振光学平台

（附带轮的平台支架）

4支撑，平面度不大于0.1mm/600mm;

平台支架：中心高700mm，支架带4个脚轮，移动方便。

个

1

2

精密电控平移台

100mm行程精密增强型电控平移台，水平方向使用，重复定位精度＜3um，回程间隙小于5um，运动直线度：＜10um/100mm;运动平行度：＜15um/100mm;

个

1

精密电控平移台

200mm行程精密电控平移台，水平使用重复定位精度＜3um，承载＞10KG

个

1

精密电控旋转台

传动比：180：1；＜重复定位精度0.005°

个

1

电移台控制箱

三维42步进电机驱动控制器（最大8细分）；与上述电位移及旋转台配合使用，可选脉冲速度：400pps~18K pps，RS232标准接口；8位LED显示；带配套控制软件，方便二次开发，可自编程

个

1

3

精密平移台

13mm精密平移台，中央分厘卡驱动，可竖直使用，最小读数0.01，灵敏度：0.001mm

个

2

可调光阑

光阑孔径在 1.5mm至 22mm之间连续可调，可单独使用

个

1

可调光阑座

与上述光阑配装，可与接杆相连使用

个

1

4

针孔光阑座

与下面所选针孔光阑及精密空间滤波器配合使用

个

3

针孔光阑

5um、10um、100um各孔径各一个，与所选针孔光阑座配合使用

个

3

精密空间滤波器

可与所选针孔光阑座及光阑配套使用，物镜调节范围13mm，分厘卡驱动，针孔调节范围：两维不小于±1.5mm；调整精度：0.005mm，配带标准接口10X，40X显微物镜各1个

个

1